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基片表面傾斜及衍射對激光會聚原子沉積條紋的影響

張寶武，張超超，劉若男，王道檔，沈小燕，余桂英

（中國計量大學計量測試工程學院，浙江 杭州３１００１８）

【摘要】目的：探究基片對激光會聚原子沉積的影響。方法：根據光學勢阱中原子運動的軌跡方程，對會聚場的光學勢阱、原子運動軌跡和沉積條紋等進行了仿真實驗。結果：衍射式光學勢阱使原子軌跡提前會聚，進而與傾斜角一起對沉積條紋的質量參數產生了影響。在正傾時，隨著的增大，條紋半高寬增大，條紋峰值減小；在負傾斜時，隨著的增大，條紋半高寬保持不變，條紋峰值增大；同時隨著的增大，沉積條紋的峰值位置相對于波節的偏移量趨向單調增大。在非衍射條件下，偏移量增大４ｎｍ；在衍射條件下，偏移量增大１５ｎｍ。結論：由于衍射的存在，不管基片表面正傾斜還是負傾斜，基片表面上方沿著ｚ方向都會存在一個直邊衍射式的光學勢阱。

【關鍵詞】計量；激光會聚；光學勢能；衍射；傾斜度