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時(shí)間:2025-11-13 17:05來(lái)源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:打印
1、超透鏡-菲涅爾透鏡
超構(gòu)透鏡是超構(gòu)表面的直接應(yīng)用,是光子學(xué)領(lǐng)域的一項(xiàng)重大進(jìn)展。傳統(tǒng)透鏡依靠曲率聚焦光線,而超構(gòu)透鏡由亞波長(zhǎng)單元陣列構(gòu)成,在實(shí)現(xiàn)相同光學(xué)性能的同時(shí),保持了纖薄輕便的特性。這些高折射率對(duì)比度的亞波長(zhǎng)單元能對(duì)光源產(chǎn)生累積偏折效應(yīng)。
本案例采用傳統(tǒng)菲涅耳透鏡設(shè)計(jì),以驗(yàn)證超透鏡的有效性。
2、理論
超透鏡的設(shè)計(jì)思路通常是:先確定實(shí)現(xiàn)目標(biāo)透鏡功能所需的相位調(diào)制,再將作用域劃分為亞波長(zhǎng)單元。隨后通過(guò)設(shè)計(jì),使每個(gè)單元提供正確的等效折射率或相位調(diào)制。
傳統(tǒng)菲涅耳透鏡如圖 1 所示,由高透過(guò)率區(qū)域(白色)和低透過(guò)率區(qū)域(黑色)的同心環(huán)帶組成 [2]。環(huán)帶通過(guò)以下公式確定:
其中U是單位階躍函數(shù),f是給定波長(zhǎng)λ的期望焦距。
圖1.波長(zhǎng)λ=0.6 μm,焦距f=8 μm的菲涅耳波帶片。
超透鏡的設(shè)計(jì)的實(shí)現(xiàn)方式為:在介質(zhì)(硅)平板的目標(biāo)高透過(guò)率區(qū)域引入亞波長(zhǎng)空氣孔陣列。這一設(shè)計(jì)可降低該區(qū)域的等效折射率,提升透射效率。
3、設(shè)計(jì)
本演示將探究三種仿真設(shè)計(jì)方案:介質(zhì)平板、厚菲涅耳透鏡、菲涅耳超構(gòu)透鏡。自由空間和厚菲涅耳透鏡示例將為超構(gòu)透鏡設(shè)計(jì)提供參考和背景依據(jù)。
所有仿真將保持相同的通用晶圓、光源和離散化參數(shù),具體如下文所述。每種透鏡示例的詳細(xì)信息將在對(duì)應(yīng)章節(jié)中說(shuō)明。
3.1通用仿真參數(shù)
表1:晶圓規(guī)格和邊界條件
輸入平面采用矩形分布作為光源。
為確保三種仿真結(jié)果的一致性,所有設(shè)計(jì)的離散化網(wǎng)格均基于約束條件最嚴(yán)格的仿真(超透鏡)確定。
表 3:網(wǎng)格離散化參數(shù)(未指定的參數(shù)均設(shè)為自動(dòng))
3.2介質(zhì)平板
第一種設(shè)計(jì)為介質(zhì)(硅)平板。該示例將展示無(wú)場(chǎng)聚焦的情況,并作為兩種透鏡設(shè)計(jì)的參考基準(zhǔn)。該平板也是后續(xù)兩種設(shè)計(jì)的基礎(chǔ),后兩種設(shè)計(jì)均通過(guò)在平板上蝕刻制成。
表 4:介質(zhì)平板設(shè)置
3.3厚菲涅爾透鏡
第一種透鏡示例為厚菲涅耳透鏡,其厚度與介質(zhì)平板一致(1.05μm)。每個(gè)環(huán)的起始半徑通過(guò)公式解析計(jì)算得出,如表 5 所示。利用這些半徑制作一系列尺寸逐漸減小的光纖波導(dǎo),材料在硅和空氣之間交替分配,中心區(qū)域?yàn)榭諝狻9饫w波導(dǎo)通過(guò) OptiFDTD 中的 VBScripting 腳本制作。
圖2.OptiFDTD中的菲涅爾透鏡設(shè)計(jì)
表 5:菲涅耳透鏡同心光纖的半徑。注意,光纖半徑越小,在項(xiàng)目瀏覽器中的層級(jí)越高,以確保該光纖的折射率優(yōu)先級(jí)高于之前的光纖。
3.4等效折射率菲涅耳透鏡
超透鏡通過(guò)在仿真域上構(gòu)建正方形晶格實(shí)現(xiàn)。利用公式判斷每個(gè)晶格節(jié)點(diǎn)所在區(qū)域?yàn)楦咄高^(guò)率區(qū)還是低透過(guò)率區(qū):若為高透過(guò)率區(qū),則制作空氣孔(采用空氣材質(zhì)的光纖波導(dǎo));若為低透過(guò)率區(qū),則不制作空氣孔。
圖3.OptiFDTD中的超透鏡設(shè)計(jì)
 
晶格和空氣孔單元的特性如下表所示:
表 6:空氣孔的通用特性
4、結(jié)果
作為基準(zhǔn)的介質(zhì)平板,未表現(xiàn)出任何場(chǎng)聚焦現(xiàn)象,且平板內(nèi)出現(xiàn)了預(yù)期的法布里 - 珀羅共振。
圖4.介質(zhì)平板在YZ平面的 Ey 場(chǎng) 
采用菲涅耳透鏡設(shè)計(jì)后,光線實(shí)現(xiàn)了場(chǎng)聚焦(如圖 5 所示)。沿 z 軸切片(如圖 6 所示)顯示,焦點(diǎn)峰值位于 8.2319μm 處。
圖5.菲涅爾透鏡在YZ平面的 Ey 場(chǎng)
圖6.菲涅爾透鏡在YZ平面的 Ey 場(chǎng)沿Z軸切片
將透鏡設(shè)計(jì)改為超透鏡后,得到了相似的結(jié)果。其焦點(diǎn)峰值位于 8.0475μm 處,但光斑尺寸更大。兩種設(shè)計(jì)結(jié)果的差異源于超構(gòu)透鏡中高透過(guò)率區(qū)的折射率對(duì)比度不同且透射率較低。
圖7.超透鏡在YZ平面的 Ey 場(chǎng)
圖8.超透鏡在YZ平面的 Ey 場(chǎng)沿Z軸切片
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